加速度傳感器，包括由硅膜片、上蓋、下蓋，膜片處于上蓋、下蓋之間，鍵合在一起；一維或二維納米材料、金電極和引線分布在膜片上，并采用壓焊工藝引出導(dǎo)線；工業(yè)現(xiàn)場測振傳感器，主要是壓電式加速度傳感器。其工作原理主要利于壓電敏感元件的壓電效應(yīng)得到與振動或者壓力成正比的電荷量或者電壓量。目前工業(yè)現(xiàn)場典型采用IEPE型加速度傳感器，及內(nèi)置IC電路壓電加速度傳感器，傳感器輸出與振動量正正比的電壓信號，例如：100mV/g(每個加速度單位輸出100mV電壓值。1g=9.81m/s-2)并把一維或二維納米材料連接成測量電橋；所述的信號處理電路包括：整流穩(wěn)壓電路、載波振蕩器、測量電橋和交流載波放大器。加速度(力)信號作用在質(zhì)量塊上，使膜片發(fā)生應(yīng)變，利用膜片上的納米材料測出應(yīng)變，利用全橋檢測方法，將材料應(yīng)變轉(zhuǎn)化為電信號，再通過一系列的信號處理過程，從而得到被測加速度信號的數(shù)值。根據(jù)本發(fā)明的這種微型膜片式加速度傳感器具有很高的靈敏度，并可進(jìn)行批量生產(chǎn)。